ASML NXE3350B

Intel fait 1,5 milliard de dollars d’emplettes chez ASML !

ASML, le plus grand fournisseur d’équipement de gravure vient de signer un contrat pour la vente de 15 unités de gravure next-gen à un très gros client américain. Même si le constructeur néerlandais ne précise pas qui est ce très gros client, il ne peut s’agir que d’Intel (NDLR qui a largement investi dans ASML). Dans les 15 machines dont le coût est évalué à 102 millions de dollars (95 millions d’euros) par pièce soit approximativement 1,5 milliard de dollars au total, le géant de Santa Clara a acheté au moins deux NXE:3350B destinées à la gravure en 10 nm qui seront fournies cette année. Le détail de la commande n’a bien entendu pas été révélé mais les livraisons s’effectueront en  plusieurs années et sur différentes évolutions de l’appareillage.

DUV vs EUV

Les unités de gravure achetées par Intel sont prévues pour une lithographie EUV (Extrême Ultraviolet) comparable à celles qui existent mais en utilisant un rayonnement UV d’une longueur d’onde comprise entre 10 et 15 nm mais les masques/objectifs sont remplacés par des miroirs de précision. Cette technologie doit également permettre de graver en 7 nm. Outre TSMC et Intel, Samsung se serait également porté acquéreur d’unités de gravure EUV ASML.

Même s’ils sont déjà commercialisés et utilisés (notamment par TSMC), les NXE:3350(B) sont toujours en cours de développement et d’optimisation pour augmenter leur productivité. Les modèles déjà commercialisés pèchent par leur taux de disponibilité de l’ordre de 55% pour les premières versions. Certains éléments (comme le générateur de gouttes d’étain) doivent encore être remplacés tous les 4 jours et l’opération demande une journée. En passant d’une source lumineuse de 40 watts à une de 80 watts, TSMC a augmenté la production quotidienne avec ce type d’appareil de 203 wafers à 1022 wafers. ASML promet des améliorations au niveau du générateur de gouttes ainsi qu’une puissance nettement plus importante pour la source lumineuse : 125 Watts pour cet été et même 250 Watts pour la fin de l’année. Vu les gains obtenus par le passage de 40 à 80 Watts, le passage à 125 puis à 250 Watts augmentera à chaque fois très significativement la productivité des NXE:3350B.

Laisser une réponse

Votre adresse email ne sera pas publiéeLes champs requis sont surlignés *

*


*